槽體材料
C-PVC或NPP,槽體可加蓋(透明PVC)
注入時間
≤45s(D1 水壓力為 2-3kg)
排放時間
≤5s
工藝過程
DI SUPPLY,SHOWER ON,drain,cycle time 的次數和時間可以單獨設定
DI 工藝要求 MAX
20L/MIN,流量可調節
全自動晶圓腐蝕機
全自動單片清洗機
全自動SIO2清洗機
全自動RCA清洗機
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