1、機臺采用進口勞士領板材,長期可工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏 。
2、全自動/手動設計,爐管自動旋轉,尾部帶沖洗功能。
3、酸液可回收重復利用,可洗爐管尺寸到半導體4"~12"或其它更大尺寸。
4、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI,所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經PFA防腐隔絕處理,電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件。
5、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側。
6、設備設計標準按半導體行業標準(SEMI-S2-93)執行,ISO9001質量管理體系進行規范和保證。
無錫電話:0510-85853898
山東電話:0635-3999580
手 機:13671788984
郵 箱:lsee@zglsee.com
無錫基地:江蘇省無錫市錫山科創園芙蓉中三路99號青云三座
山東基地:山東高唐經濟開發區超越路創業示范園C棟